- NDL - 國家奈米元件實驗室

研究領域

奈米光子

本研究主要利用現有實驗室半導體製程能力的優勢，研發二�三維度金屬型光子晶體（Metal Photonic Crystal），及包含有量子點的奈米光子材料和元件，並研究相關的左手法則介間物質（Left-handed material）和表面電漿子效應。從實驗製作、相關理論、模擬模型的分析，乃至於在能源、電子及生技的應用，建立此領域的系統性研究，及期望獲取世界級研究成果。本研究重點計畫如下：

重點計畫：nm-scaled 3D metal photonic crystals

藉由NDL的top-down製造平臺及CMP技術，研發奈米尺度（100-350 nm）的Cu-based三維度金屬型光子晶體，以期獲得在近紅外及可見光波段的高強度高效率的電-光轉換。

Sub-project 1：2D metal arrays , magnetic metamaterials , and plasmonics

先以以微影蝕刻方式製備，接著利用FDTD軟體模擬完成350nm以下各式樣二維金屬陣列及可能呈現介間磁性及表面電漿子之結構與尺度的元件設計，建立該等性質（磁性及表面電漿子效應）之量測能量，開發可應用之高頻磁性與生化檢知的元件。

Sub-project 2：Quantum dot- and quantum wire-based photonics

建立量子點及線之各式製備能力、設計及製造在光檢知，光激發與光傳輸之應用元件。