專長：
元件電性與可靠性分析/先進元件技術開發/半導體元件物理

負責業務：
蝕刻磊晶與微機電製作

E-mail：mcchen@ndl.narl.org.tw

電話分機：7511(座位)

專長：
真空技術/快速熱製程

負責業務：
Mattson PR stripper乾式光阻去除機
KORONA 800 RTP急速升溫退火爐
JETFIRST RTP高介電材料快速退火爐

E-mail：wuv@ndl.narl.org.tw

電話分機：7638(座位)，7483(實驗室)

專長：
Oxide etching
SiN etching
Poly Si etching
Single Si etching

負責業務：
TEL TE5000 Oxide Etcher氧化矽乾式蝕刻機
TCP 9400 Poly Si Etcher 多晶矽乾式蝕刻機

E-mail：cmwu@ndl.narl.org.tw

電話分機：7547(座位)，7482(實驗室)

專長：
擴散製程

負責業務：
垂直爐管
後段真空退火爐管
後段常壓退火爐管

E-mail：jlhsieh@ndl.narl.org.tw

電話分機：7650(座位)，7407(實驗室)

專長：
高介電薄膜沉積
金屬蝕刻製程
光阻灰化製程

負責業務：
MOCVD有機金屬高介電薄膜沉積系統
水平爐管

E-mail：wcchiu@ndl.narl.org.tw

電話分機：7569(座位)，7431(實驗室)

專長：
CVD製程
乾式蝕刻製程

負責業務：
後段BEOL Integration
ICP深式矽蝕刻機

E-mail：jlhsu@ndl.narl.org.tw

電話分機：7651(座位)，7431(實驗室)

專長：
新製程開發設備維護保養

負責業務：
TCP 9600金屬蝕刻系統機台
Lam 2300 蝕刻系統

E-mail：fkhsueh@ndl.narl.org.tw

電話分機：7557﹝座位﹞，7483﹝實驗室﹞

專長：
Chemical Mechanical Polishing
Deep RIE

負責業務：
CMOS-MEMS電容式感測元件與製程平台之開發
Fusion 200AC-II Asher乾式光阻去除機
AG-610 RTP金屬快速退火爐

E-mail：yttuan@ndl.narl.org.tw

電話分機：7521(座位)

專長：
擴散製程

負責業務：
水平爐管製程兼設備維護工程師
雷射刻號機

E-mail：cjwu@ndl.narl.org.tw

電話分機：7698(座位)，7407(實驗室)

專長：
生物晶片
藥物篩選
藥物開發
蛋白質/胜月太的研究與開發

負責業務：

E-mail：hmchen@ndl.narl.org.tw

電話分機：7712(座位)

專長：
蝕刻製程
有機金屬合成
功能性無機奈米材料合成

負責業務：
Anelva ILD-4100 Metal Etcher金屬乾式蝕刻機

E-mail：jyyang@ndl.narl.org.tw

電話分機：7726(座位)

專長：
低維度量子元件物理
奈米感測元件
奈米結構元件製作

負責業務：
Tencor P-10 Surface Profiler表面輪廓量測儀

E-mail：mplu@ndl.narl.org.tw

電話分機：7734(座位)