專長：
反應式離子蝕刻技術
半導體非揮發性記憶體元件及製程整合
CMOS元件及製程整合
磁性物理學
真空技術

負責業務：生醫微機電元件組長及蝕刻磊晶與微機電製作組組長（兼任）

E-mail：chho@ndl.org.tw

電話分機：7533

專長：
真空技術/快速熱製程

負責業務：
Fusion 200AC-II Asher乾式光阻去除機
Tencor P-10 Surface Profiler表面輪廓量測儀
Mattson PR stripper乾式光阻去除機

E-mail：wuv@ndl.org.tw

電話分機：7638(座位)，7402(實驗室)

專長：

Oxide etching
SiN etching
Poly Si etching
Single Si etching

負責業務：
TEL TE5000 Oxide Etcher氧化矽乾式蝕刻機
TCP 9400 Poly Si Etcher 多晶矽乾式蝕刻機

E-mail：cmwu@ndl.org.tw

電話分機：7547(座位)，7482(實驗室)

專長：擴散製程

負責業務：
垂直爐管
後段真空退火爐管
後段常壓退火爐管

E-mail：jlhsieh@ndl.org.tw

電話分機：7650(座位)，7407(實驗室)

專長：金屬蝕刻製程/光阻灰化製程

負責業務：
MOCVD有機金屬高介電薄膜沉積系統
水平爐管製程兼設備維護工程師

E-mail：wcchiu@ndl.org.tw

電話分機：7569(座位)，7406(實驗室)

專長：CVD製程

負責業務：

Anelva ILD-4100 Metal Etcher金屬乾式蝕刻機
後段BEOL Integration
ICP深式矽蝕刻機

E-mail：jlhsu@ndl.org.tw

電話分機：7651(座位)，7431(實驗室)

專長：新製程開發設備維護保養

負責業務：

TCP 9600金屬蝕刻系統機台
Lam 2300 蝕刻系統

E-mail：fkhsueh@ndl.org.tw

電話分機：7557﹝座位﹞，7483﹝實驗室﹞

專長：光阻蝕刻製程

負責業務：

KORONA 800 RTP急速升溫退火爐
AG-610 RTP金屬快速退火爐
AG-610i RTP快速退火爐
JETFIRST RTP高介電材料快速退火爐

E-mail：ycchen@ndl.org.tw

電話分機：7561(座位)，7483(實驗室)

專長：擴散製程

負責業務：

水平爐管製程兼設備維護工程師
雷射刻號機

E-mail：cjwu@ndl.org.tw

電話分機：7698(座位)，7407(實驗室)