• 固態大樓(舊廠)建於1989年，由交大營繕組發包。

• 舊廠潔淨室於1991/8始建，廠務工程組成立：組員3人。

• 至2003年增至14人：含監控室四班二輪4人。

• 2003/12增加新廠(奈米大樓)驗收運轉增至14+4人。

• 歷任組長：Mr.何道銘. Dr.詹世雄. Dr.吳世全.Mr.李豫弘。