一.技術服務
MES (Manufacturing Execution System) 工廠生產管理系統 導入及簡介
國家奈米元件實驗室，為台灣培育半導體與奈米科技高級技術人才重鎮，自1988年成立以來，即對國內學術界在開發先進半導體製程技術的研究與業界所需半導體人才的培育上不遺餘力, 每年開辦之各式相關課程訓練人數已達5000人以上之規模，歷年來利用本實驗室研究設施所指導完成的碩博生文已超過2500篇。
本實驗室新竹奈米元件廠，基於擴大對學界及業界的委託服務，及便利遠端的使用者對於產品的進度掌握及訊息，自今年(98年)2月起,計劃導入MES系統，藉於有效管理與追蹤在製品的生產狀態，同時提高工廠效態及產態,並有效降低生產成本及風險，提升工廠之e化作業，以確實控管生產，準確達成客戶交期。建置時間共為期5個月，已於98年8月全面上線服務，屆時本實驗室服務系統必有一番新的面貌。
計劃目的：
本實驗室計劃導入之ciMes MES 系統，架構奈米實驗室主要及開鍵的作業流程，以符合實際生產之需求，同時透過資料收集、即時訊息回饋、完整的流程監控、資源管理等提升生產效率及品質，強化實驗室的管控。
MES系統為適用於本實驗室，為一客製化系統，因應實驗室研究型之製程及多樣化的參數而製定，98年8月全面上線之前為測試期，98年7月份起將有一連串之訓練課程，已完成的上課日期如下：98/7/21(二), 98/7/24(五), 98/8/3(一),98/10/30(五),99/1/8(五),99/7/23(五),99/11/12 (五),100/01/07 (五)。

附件：
連續製程委託申請步驟(連續製程委託申請-步驟)
委託單維護的操作手冊(申請單流程設定)
MES 對外網頁：http://mesap.ndl.narl.org.tw/cimesportal

二.90nm 平臺服務
(1)90奈米標準元件流程簡介
(2)90奈米平臺服務申請
● 服務範圍
 a.90nm NFET/PFET 標準元件 (Poly gate;pure oxide gate dielectric,w or w/o Ni silicide)
 b.90nm line width Si/Poly patterning
● 申請辦法
● Contact window:宋金龍,分機:7653/賴東彥,分機:7515
● 進度查詢 (MES)

三.公佈欄