國研院| 客服信箱| 同仁分機表| 網站地圖| 會員入口| ENGLISH| 回首頁  
- NDL - National Nano Device Laboratories
元件實驗服務

元件實驗服務
NDL整合元件遠距服務平台
奈米新竹廠
新竹廠
台南廠
高頻與電性量測
對外服務價目表
線上查詢
委託代工進度查詢
元件廠內人員
設備狀況查詢
設備狀況查詢

微影與光罩製作組 |蝕刻磊晶與微機電製作組 |薄膜擴散與太陽能電池製作組 |

設備編號
設備名稱
狀態
備註
更新
日期
聯絡
窗口
L05
I-line stepper

光學步進機
OK
機器正常。
10/18
許進財
7648
L06
線上電子顯微鏡

In-line SEM
OK
1.設備考核請E-mail:csj@ndl.narl.org.tw
10/18
陳世哲
7647
L03
Mask OM

光罩光學顯微鏡
OK
機台正常。
10/18
陳世哲
7547
L09
Track

自動化光阻塗佈及顯影系統
OK
1.設備考核請E-mail:cshong@ndl.narl.org.tw 2.機台正常。 3.廠務年度歲修，預計11月4日13:00-11月14日停機。
11/04
洪朝欣
7573
L12
ELS7500

電子束直寫系統
OK
機台正常。
10/18
陳世哲
7547
L14
Nanoimprint

奈米壓印機
OK
1.氣密用耗材膜請自備。若使用6" wafer壓印，下方緩衝氣密墊不可省，否則wafer接近真空吸孔的附近會碎裂。 2.機台正常。 3.廠務年度歲修，預計11月4日13:00-11月14日停機。
11/04
洪朝欣
7573
L02
Leica e-beam

電子束直寫系統
OK
機器正常。
10/18
劉正財
7649

微影與光罩製作組 |蝕刻磊晶與微機電製作組 |薄膜擴散與太陽能電池製作組 |

 

LOGO
(C) 2012 National Nano Device Laboratories. All rights reserved.
財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 版權所有