元件實驗服務
設備狀況查詢
| 微影與光罩製作組 | 蝕刻磊晶與微機電製作組 | 薄膜擴散與太陽能電池製作組 | 奈米元件台南廠 |
| 機台狀態說明： |
| IDLE：可用；MANUAL：自行操作；RUN：使用中；TEST：測試；DOWN：停機；EXAM：考核中；TRAINING：教育訓練；PM：年度維修； |
| 設備編號 | 名稱 | 狀態 | 備註 | 更新日期 |
| L01 | JEOL e-beam-電子束光罩製作系統 | IDLE | 2012/03/16 14:26:36 | |
| L02 | Leica e-beam-電子束直寫系統 | IDLE | 2012/05/30 13:56:58 | |
| L05 | I-line stepper-I-line 光學步進機 | IDLE | 2012/05/30 16:21:03 | |
| L06 | 線上電子顯微鏡 | MANUAL | 2012/05/30 16:47:12 | |
| L09-01 | 自動化光阻塗佈及顯影系統(track1-1) | MANUAL | 2012/05/30 14:35:32 | |
| L09-02 | 自動化光阻塗佈及顯影系統(track1-2) | IDLE | 2012/05/30 16:24:18 | |
| L09-03 | 自動化光阻塗佈及顯影系統(track1-3) | IDLE | 2012/05/30 16:30:19 | |
| L09-04 | 自動化光阻塗佈及顯影系統(track1-4) | IDLE | 2012/05/30 16:20:14 | |
| L12 | ELS7500電子束直寫系統 | MANUAL | 2012/05/30 15:52:51 | |
| L13 | FIB-離子束電子束雙束系統 | MANUAL | 2012/05/30 16:58:24 | |
| L14 | 奈米壓印機(Nanoimprint) | IDLE | 2012/05/24 22:01:30 |
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