奈米元件材料分析組，隸屬於國家奈米元件實驗室的專業實驗室團隊，其前身為材料分析組。奈米元件材料分析組目前編配員額 10 人(博士 : 20%；碩士 : 60%；其他:20%)，主要任務為提供高品質的量測分析服務、進行前瞻性量測技術與方法之研發、人才培育、量測儀器維護以及提供學界師生穩定而可靠的使用環境，期能發揮資源共享與資源整合的目的，並能有效支援國內產學界進行奈米科技研發與相關人才培育。

　　為因應奈米科技發展之需要，奈米元件材料分析組近年來致力於各項奈米檢測技術的研發，特別是在於材料介面微觀結構分析，材料系統包含半導體材料、金屬及陶瓷材料介面微觀分析。此外，為了加強實驗室運作的品質與效能、強調實驗室的專業性與提升測試結果的公信力，本組的奈米量測實驗室通過全國認證基金會(TAF)評鑑取得 ISO17025：2005 測試實驗室之資格(實驗室編號：1935)，通過認證項目為:AFM階高量測、AFM線距量測、SEM線寬量測、SEM表面影像觀測、TEM線距量測、以及SIMS硼元素縱深分析等六項， 並於2008年1月3日完成國際實驗室認證聯盟相互承認協議(ILAC MRA)的合約簽署。目前奈米元件材料分析組擁有的前瞻核心技術為電性掃描探針顯微鏡技術，技術服務領域可細分為四大主軸，分別是：

(1) 繞射分析技術:包括高解析的穿透式電子顯微鏡與 X 光繞射儀；

(2) 掃描分析技術：包括原子力顯微鏡、掃描電容顯微鏡、掃描電流顯微鏡、掃描式電子顯微鏡；

(3) 表面化學分析技術：包括歐傑電子顯微鏡、 X 光光電子能譜儀與二次離子質譜儀；

(4) 低溫分析技術：包括低溫磁電阻量測、傅氏紅外線光譜儀、低溫 I-V 量測等。

除了上述各主要儀器設備的單機服務功能之外，奈米元件材料分析組的整合式分析服務可提供委託者完整而快速的分析結果，而其試片製備室亦可提供客製化試片製備服務。未來奈米元件材料分析組將秉持可靠、精確與迅速的品質政策，持續提升分析服務能力、培訓奈米量測分析人才並支援先導型與應用型的研發工作，以厚實我國在奈米科技的競爭力。

• 2011-10-22 100年度奈米元件材料分析組歲修停機公告
• 2011-06-24 本實驗室冷場發射式掃描電子顯微鏡(nm-001)，已可正常運轉。故即日起開放使用。若有疑問，請洽工程師許瓊姿，分機7751。
• 2011-06-09 本實驗室冷場發射式掃描電子顯微鏡(NM-001)，於05/23進行更換燈絲，目前機台真空仍有問題無法使用。待機台修復後，將進行開放使用。不便之處；敬請見諒。若有疑問，請洽工程師許瓊姿，分機7751。
• 2011-04-20 NDL將於100/4/27(三) 13:30 ~ 15:30 四樓電腦教室進行教育訓練課程(奈米元件材料分析組)，有興趣的學員可前往參加。
• 2011-01-17 SEM(JOEL JSM 6500-F)已加裝EDS功能，目前已開放服務(服務項目有元素之定性、半定量分析、面掃描分析)
• 2011-01-05 台電歲修停電公告
• 2010-10-29 99年度奈米元件材料分析組歲修停機公告
• 2010-03-26 奈米元件材料分析組工作輪調公告
• 2009-10-23 98年度奈米元件材料分析組歲修停機公告
• 2009-10-23 98年度上半年優良供應商
• 2009-04-02 二次離子質譜儀預定98/03/31對外開放委託服務
• 2008-12-29 奈米量測實驗室於97年12月29日接受TAF頒發ILAC-MRA實驗室組合標記陶板
• 2008-08-11 8/1日起機台委託申請服務請至對外服務系統申請
• 2008-06-13 TFSEM與XRD使用者等級變更為B2級
• 2007-12-17 AFM(階高量測)與SEM(線寬量測)於96年12月17日通過ISO 17025認證
• 2007-10-30 自97年1月1日起本組低溫實驗室推出「低溫高磁電性」及「FTIR」分析服務項目