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元件技術
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奈米CMOS元件製程技術
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奈米機電元件技術
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專長：
積體電路製程
元件可靠性
元件物理
羅廣禮 博士(Guang-Li Luo) glluo@ndl.narl.org.tw  
專長：
SiGe, III-V半導體材料磊晶
SiGe半導體元件物理與製程
半導體材料分析
陳仕鴻 博士(Szu-Hung Chen) shchen@ndl.narl.org.tw  
專長：
電子束微影
奈米結構製作
化合物半導體元件
矽奈米線元件製程
楊忠諺 博士(Jung-Yen Yang) jyyang@ndl.narl.org.tw  
專長：
蝕刻製程
有機金屬合成
功能性無機奈米材料合成
丁志華 博士(Jyh-Hua Ting) jting@ndl.narl.org.tw  
專長：
碳奈米管電子元件
半導體製程
微機電系統
數值模擬
呂明霈 博士(Ming-Pei Lu) mplu@ndl.narl.org.tw  
專長：
低維度量子元件物理
奈米感測元件
奈米結構元件製作
許舒涵 博士(Shu-Han-Hsu) hsushuhan@ndl.narl.org.tw  
專長：
元件界面修飾與表面化學排序
自組裝有機單分子薄膜結構，性質與應用
奈米結構材料技術與應用
先進鍺元件技術開發
半導體材料分析
蘇雅雯 博士(Ya-Wen-Su) yawensu@ndl.narl.org.tw  
專長：
金屬與半導體材料奈米電化學結合電子束微影製程
奈米電子元件製程與電性量測
奈米矽線化學與生物分子感測器
有機半導體場效應電晶體

 

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