國家奈米元件實驗室除致力於成為世界級20-10奈米電子元件的研究重鎮外,並全力推動新興奈米元件領域的奈米生醫微機電的研究,以提升本實驗室的前瞻價值。本組主要發展目標將專注在以矽基材製作生物電子感測元件的開發,期為台灣的半導體及相關的電子領域帶來新的研究方向及商機。在研究領域上將以所專長的矽基材元件及製程技術為基礎,強化與學研界在生醫技術專長之跨領域合作,期能共同開發出各種高感度之奈米線場效電晶體、奈米gap、奈米孔洞元件及光波導之感測技術服務平台,並利用各種感測元件之獨特電性去發現合適的生物感測應用。